下载一种自动调节金刚石线切割硅片速度的智能装置的技术资料

文档序号:7941904

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本实用新型公开了一种自动调节金刚石线切割硅片速度的智能装置,它包括间隔设置在线网(1)上的线弓监测点(2),所述线弓监测点与线弓检测器(3)相连,线弓检测验器与台速控制器(4)相连。本实用新型在硅片切割过程中利用线弓监测点对金刚石线线弓的大...
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