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有辅助相位区的相移掩模。一种相移掩模，有棋盘形阵列和包围的子分辨率辅助相位图形。该棋盘形阵列包括有180度相对相位差的交替相移区R。该子分辨率辅助相位区R′驻留在相邻的对应的相移区R，并对该相移区R有180度的相对相位差。该子分辨率辅助相位...
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