下载单晶炉用均热式加热系统的技术资料

文档序号:7933556

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本发明公开了一种单晶炉用均热式加热系统,包括置于炉体内上加热器、下加热器,上加热器、下加热器分别正对于坩埚的上部、下部,上加热器、下加热器分别连接有电源系统,所述的上加热器、下加热器分别呈方波状,上加热器、下加热器的间距内设有梳状排布的导热...
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