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单晶炉用均热式加热系统技术方案
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下载单晶炉用均热式加热系统的技术资料
文档序号:7933556
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本发明公开了一种单晶炉用均热式加热系统,包括置于炉体内上加热器、下加热器,上加热器、下加热器分别正对于坩埚的上部、下部,上加热器、下加热器分别连接有电源系统,所述的上加热器、下加热器分别呈方波状,上加热器、下加热器的间距内设有梳状排布的导热...
该专利属于合肥景坤新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥景坤新能源有限公司授权不得商用。
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