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本发明提供一种超厚超硬涂层及其制备方法，包括沉积于基体表面的Ti底层、制备于Ti底层上的TiN过渡层以及制备于TiN过渡层上的TiAlSiCN涂层，该超厚超硬涂层的厚度≥20微米，制备时以柱型电弧Ti靶作为Ti源，以平面磁控溅射Si靶、Al...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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