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通过使用含有(A)、(B)以及(C)的感光性树脂组合物，可得到显影不均得到改善的分辨率高的图案。(A)树脂(B)下式(1)所示的聚合性化合物(C)具有下式(2)所示结构的光聚合引发剂...
该专利属于住友化学株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过住友化学株式会社授权不得商用。

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