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本发明提供了一种基于负刚度效应的垂直轴硅微谐振式加速度计，该加速度计（100）包括第一外部质量块（101）、设置在第一外部质量块（101）内部且与第一外部质量块（101）相连的第一平面谐振器（103a）、设置在第一外部质量块（101）右方且...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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