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微纳热电偶探针的制备装置制造方法及图纸
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下载微纳热电偶探针的制备装置的技术资料
文档序号:7899491
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本发明公开了一种微纳热电偶探针的制备装置,包括:上部开口的箱体、滑槽、操纵杆、机械爪、电化学腐蚀模块、洗涤干燥模块和绝缘层包覆模块,所述箱体的上部设有一滑槽,操纵杆在滑槽上可以水平移动,操纵杆与机械爪固定连接,所述电化学腐蚀模块、洗涤干燥模...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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