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一种高、低频电浆清洗机，包含一腔体、安装在该腔体内部用以提供处理基材置放的一电极平台、可将反应气体通入该腔体内的至少一气体导入装置、可馈入微波在该腔体内的一微波产生装置及可传导射频能量至该腔体内的一射频电源供应器；其中，在该腔体底部设有一可...
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