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一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器制造技术
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下载一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器的技术资料
文档序号:7896785
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本发明公开了一种基于双反射面的表面等离子体共振光波导传感器,它包括:输入波导阵列、自由传播区、两个金属传感层、输出波导阵列和探测器阵列;两个金属传感层分别镀在自由传播区的自由传播区反射端平面和自由传播区反射端曲面上,两个金属传感层上均蚀刻了...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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