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一种用于识别半导体纳米结构形貌的方法技术
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文档序号:7896313
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本发明公开了一种基于支持向量机的纳米结构形貌识别方法。首先生成训练光谱,确定支持向量机的核函数与训练方式;生成测试光谱及多种不同的支持向量机;利用测试光谱对支持向量机进行特征形貌识别准确率测试,找出识别准确率、训练光谱数目和核函数之间的关系...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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