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一种连续生长准单晶晶体的装置制造方法及图纸
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下载一种连续生长准单晶晶体的装置的技术资料
文档序号:7894096
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本发明涉及一种连续生长准单晶晶体的装置,具有用于放置硅溶液的坩埚,坩埚上方设置有链式长晶循环装置,链式长晶循环装置包括动力支撑盘和循环链条,循环链条具有籽晶挂载区、生长区,籽晶挂载区内的链条和生长区内的链条均与坩埚内的硅溶液液面分离,籽晶挂...
该专利属于常州天合光能有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州天合光能有限公司授权不得商用。
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