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本发明公开了一种脉冲放电沉积制备类金刚石薄膜的方法，属于金属或非金属表面改性处理的技术领域。该方法采用以石墨为阴极电极的脉冲电弧放电和分解离化碳氢化合物气体的混合物理化学气相沉积法在工件表面进行DLC沉积，主要操作步骤是：超声波清洗、抽真空...
该专利属于陈伟所有，仅供学习研究参考，未经过陈伟授权不得商用。

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