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一种实时颜色动态调控微器件及其制备和调控方法技术
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文档序号:7891777
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本发明公开了一种实时颜色动态调控微器件及其制备和调控方法。利用同步辐射光源在铂层上制备高深宽比的PMMA二维微结构阵列,利用直流磁控溅射在微结构内部沉积锆钛酸铅薄膜层,在微结构的顶部沉积高反射率纳米金属铬层,形成有高度差的上下两层反射层,通...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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