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一种中压单晶炉的安全阀，结构主要由管道连接件，阀瓣，阀体，锁紧螺母，螺杆，弹簧，O形圈，螺钉，出气口组成，管道连接件和阀体之间通过螺钉连接起来，阀体与螺杆通过螺纹连接，调节好泄压压力后通过锁紧螺母锁紧，以保证泄压值恒定，通过弹簧实现阀瓣的开...
该专利属于北京京仪世纪电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪世纪电子股份有限公司授权不得商用。

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