下载晶体炉随炉退火装置的技术资料

文档序号:7884308

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种晶体生长炉,具体说就是一种晶体炉随炉退火装置,包括晶体生长炉,其特征在于:还包括一个位于晶体生长炉顶部的随炉退火装置,所述的随炉退火装置包括一个感应线圈,以及置于感应线圈内的圆柱形后感应保温筒,还包括一个位于圆柱形后感应保...
该专利属于上海赢奔晶体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海赢奔晶体科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。