温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种研磨垫及研磨装置，所述研磨垫的研磨表面具有若干同心的圆形沟槽，所述研磨表面上还具有若干从所述研磨垫的中心向四周发散的导流槽。本实用新型还公开了一种采用如上所述的研磨垫的研磨装置。本实用新型通过在所述研磨表面上增设若干从所...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。