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本实用新型公开了一种电浆产生腔体，包含一腔体，一电极板，至少两个传输线单元，搭配一射频电流源所组成。通过至少两个传输线单元对称配置于电极板边缘以调整腔体的阻抗，射频电流源可提供的功率至腔体内的电极板，以产生具有均匀的电浆以适用于各种薄膜材料...
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