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超声波清洗方法技术
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文档序号:786669
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一种将加有超声波的清洗液供给被清洗物,来清洗所述被清洗物的超声波清洗方法,对所述清洗液施加所述超声波,以规定间隔反复进行施加、停止的方式进行。用该超声波清洗方法进行清洗时,可以既不降低去除附着在被清洗物表面的微粒的效率,又不损伤被清洗物。...
该专利属于东芝株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东芝株式会社授权不得商用。
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