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一种生长氧化锌晶体的方法技术
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文档序号:7861390
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一种生长氧化锌晶体的方法,在真空下,通入保护气,以氧化锌粉为粉源,将氧化锌粉加热使其升华为气体,所述升华的气体在温度梯度作用下被输运到氧化锌籽晶表面且结晶生长。采用升华法生长氧化锌晶体装置,加热速度快、生长室容易达到高真空,可通过改变工艺条...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。
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