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提供一种制造能良好而且有效地洗净衬底等的洗净材料的方法。从洗净材料制造容器５的一端部形成的过冷却液喷出口６２，采用使水或水和比其凝固点低的有机化合物液的混合液作为原料液冷却到过冷却状态的过冷却液１ｃ象洗净材料制造容器５内喷出的办法，在净材料...
该专利属于太阳日酸株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过太阳日酸株式会社授权不得商用。

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