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一种高纯氪氙的提纯装置制造方法及图纸
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下载一种高纯氪氙的提纯装置的技术资料
文档序号:7858705
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本实用新型涉及一种高纯氪氙的提纯装置,在粗氪氙除碳氢化合物系统与氪氙浓缩系统间设有氡吸附器,在氪氙浓缩系统与氪氙精馏系统间设有二次除碳氢化合物系统,氪氙精馏系统的氪出气管连接汽化器,氪氙精馏系统的氙出气管连接汽化器、氙气净化器。本实用新型对...
该专利属于济南鲍德气体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过济南鲍德气体有限公司授权不得商用。
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