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本表面形状测定方法将包含不同的波长的白色光(8A)分割成参照光(8C)和测定光(8B)，使测定光(8B)向被测定面(3)入射，使参照光(8C)向第一衍射光栅(20)入射，将参照光(8C)和由被测定面(3)反射出的测定光(8B)合成，作为干涉...
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