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本实用新型公开了一种集成电路管脚三维检测装置，包括图像采集单元（2，3）、平面反射镜（4）、光源（5）、反光板（6）和图像检测处理单元（1），待检测的芯片（8）设置在反光板（6）下方，所述光源（5）发出的光束经反光板（6）反射后照射在待检测...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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