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本发明公开一种用于对空心管状高纵横比工件内部区域进行等离子体强化化学气相沉积的方法和设备。多个阳极被轴向地定距相隔地排列安置于工件的内部区域。生成气体被引入此区域。将各独立的直流或脉冲直流偏压施加于每个阳极。偏压激发生产气体成为等离子体。工...
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