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本发明揭示一种汽化装置及其控制方法，包含：汽化坩埚（vaporization?crucible），用以容置原料；汽化加热单元，用以藉由加热所述汽化坩埚而汽化所述原料；温度量测单元，用以量测所述汽化坩埚的温度；功率量测单元，用以量测所述汽化加...
该专利属于韩商SNU精密股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过韩商SNU精密股份有限公司授权不得商用。

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