温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种供制造基板时所使用的基板清洁装置，该基板清洁装置包含连接件以及磁吸清洁件。连接件有贯穿孔以及与贯穿孔相连的开口，磁吸清洁件经由该贯穿孔穿设于该连接件，且磁吸清洁件部分暴露于连接件的开口处。基板清洁装置应用于基板清洁系统上，而基板清洁系统...
该专利属于友达光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过友达光电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。