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一种半导体量子阱光探测器件制造技术
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文档序号:7847115
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本发明属于光波探测器技术领域,具体涉及一种半导体量子阱光探测器件。该探测器包括半导体层、量子阱层和一层亚波长周期性结构的金属膜;量子阱中至少具有两个能级,并具有一定的载流子浓度。一定频谱宽度入射光波垂直或倾斜于半导体层入射,入射光波激发周期...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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