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晶片分选装置制造方法及图纸
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文档序号:784154
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晶片分选装置,包括晶片传送装置,晶片传送和定位装置、电极测试装置,晶片定位装置、分选器构成,电极在测位上设有可上下移动的电极对晶片进行测量,所述晶片传送和定位装置包括运送晶片的电磁振荡槽,电磁振荡槽的前部设有一预检测工位,另设有检测工位,预...
该专利属于南京熊猫仪器仪表有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京熊猫仪器仪表有限公司授权不得商用。
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