下载研磨机和研磨方法的技术资料

文档序号:7840542

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一种研磨设备,包括至少两个轴向独立驱动的元件,该一个轴向独立驱动的元件偏心地安装在另一个轴向独立驱动的元件,从而在两者之间形成加工腔室,在与最大径向间隙的相对的直径的位置上所述元件之间具有最小的径向间隙。通过使材料穿过能够调节的最小径向间隙...
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