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本发明公开了一种玻璃基板卡匣的检测装置,玻璃基板卡匣沿竖直方向设置有用于支撑玻璃基板的多个支撑面,检测装置包括沿竖直方向分布且分别与多个支撑面对应的多个检测单元,以同时对每个支撑面上是否存在玻璃基板以及每个支撑面上的玻璃基板是否存在异常进行...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种玻璃基板卡匣的检测装置,玻璃基板卡匣沿竖直方向设置有用于支撑玻璃基板的多个支撑面,检测装置包括沿竖直方向分布且分别与多个支撑面对应的多个检测单元,以同时对每个支撑面上是否存在玻璃基板以及每个支撑面上的玻璃基板是否存在异常进行...