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本发明揭露了一种低介电材料的表面改性工艺，该工艺通过将由旋涂法制得的二氧化硅湿凝胶薄膜浸润在改性溶液中进行表面改性处理，然后再通过大气环境下的热处理，制备出具有低介电常数的二氧化硅薄膜材料。该工艺中由于直接用溶剂浸润和热处理两种简单方便的工...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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