下载一种突变结晶硅太阳电池的制备方法的技术资料

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一种突变结晶硅太阳电池的制备方法,采用CVD的方法在晶体硅片上低温外延制备晶硅薄膜,并采用快速热退火的工艺激活掺杂元素;采用热丝CVD或等离子辅助CVD可实现大面积均匀沉积薄膜,保证体硅太阳电池的均匀性;采用快速热退火处理,可在保证突变结结...
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