下载一种用于电化学蚀刻高精细线路的无机盐蚀刻液的技术资料

文档序号:7807212

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本发明公开了一种用于电化学蚀刻高精细线路的无机盐蚀刻液,它由下列物质制成:氯化钾、亚硝酸钾、磷酸钾、配位剂、添加剂和水。该无机盐蚀刻液各组分浓度精确,通过电化学蚀刻法可将印制电路板铜箔的精度控制在10μm以下,蚀刻精度高,蚀刻速度稳定、蚀刻...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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