下载填充有机颗粒的抛光垫及其制造和使用方法的技术资料

文档序号:7790509

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本发明公开了包括处于连续聚合物相中的有机颗粒的抛光垫以及此类垫的制备和在抛光处理中的使用方法。在一个示例性实施例中,所述抛光垫包括一体地形成于片材中的多个抛光元件。在另一示例性实施例中,所述抛光元件通过例如热粘结而粘结到支承层。在某些实施例...
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