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本发明公开了一种光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，采用密闭腔作为参考腔，密闭腔里预先冲入工作气体，密闭腔的气体压强通过连接在密闭腔上的压力传感器监控；通过继续充入或微量放气来调节密闭腔的压力到需要值，通过微流量比例控制阀来控制工作气体输...
该专利属于深圳市华唯计量技术开发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华唯计量技术开发有限公司授权不得商用。

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