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电介质层的预灾变、应力诱导漏电流情况的检测制造技术
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下载电介质层的预灾变、应力诱导漏电流情况的检测的技术资料
文档序号:7785304
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本发明涉及电介质层的预灾变、应力诱导漏电流情况的检测。本发明公开的技术对电介质层施加应力直到检测到预灾变、应力诱导漏电流(SILC)情况。当检测到预灾变SILC情况时,应力被移除以防止电介质及其关联器件的灾变性故障。因为这些技术防止电介质层...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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