专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
西安交通大学
>
一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统技术方案
>技术资料下载
下载一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统的技术资料
文档序号:7784337
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于纳米表面形貌在线测量的集成系统。该系统由集成光子芯片和测量探头两个主要部分组成,光子芯片由基于纳米线阵列的可调谐激光器、集成波导型光隔离器、基于表面等离子体的光耦合器和光探测器集成产生,而测量探头由准直透镜、光栅、物镜和参考镜组合而...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。