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本发明公开了一种相位调制光栅传感器及实现测量的方法，基于PZT对光栅测量信号进行相位调制，避免直流漂移和幅值波动对纳米测量信号的影响；采用嵌入误差检测模块实时补偿光栅传感器对位误差，实现纳米精度的位移和长度测量。包括光路部分和信号处理部分。...
该专利属于夏豪杰所有，仅供学习研究参考，未经过夏豪杰授权不得商用。

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