下载去除多晶硅中金属杂质的方法的技术资料

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一种去除多晶硅中金属杂质的方法,具体步骤如下:将工业硅投入坩埚;降低炉膛内压力至10Pa以下;启动加热装置,将工业硅全部融化后,缓慢调低加热温度至熔融的工业硅的温度保持在1420℃~1421℃之间;向炉膛内充入保护气体;将石墨气冷装置插入熔...
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