下载以离子化气体流覆盖宽广面积的技术资料

文档序号:7775729

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本发明披露一种具有气体传输通道的离子传递歧管,其用于接收离子化的气体流,及多个出口,其将气体流划分成多个中和气体流而引导向分别的多个目标区域。通过使用通过多个出口的不同离子的流速达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。将多个中和流传递至分...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。

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