专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
伊利诺斯工具制品有限公司
>
以离子化气体流覆盖宽广面积制造技术
>技术资料下载
下载以离子化气体流覆盖宽广面积的技术资料
文档序号:7775729
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明披露一种具有气体传输通道的离子传递歧管,其用于接收离子化的气体流,及多个出口,其将气体流划分成多个中和气体流而引导向分别的多个目标区域。通过使用通过多个出口的不同离子的流速达成横跨目标区域的至少大致相等的离子分配。将多个中和流传递至分...
该专利属于伊利诺斯工具制品有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过伊利诺斯工具制品有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。