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本发明涉及一种用于采用由压电材料制成的振荡悬臂(12)对表面进行扫描的传感器，该传感器适于横梁的自由端的横向振荡，在横向方向固定导电探针针尖(14)，其中横梁具有第一偏转电极(26A、26B)和相反定相的第二电极(28A、28B、28C)以...
该专利属于F·J·吉斯布尔所有，仅供学习研究参考，未经过F·J·吉斯布尔授权不得商用。

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