下载传感器系统的技术资料

文档序号:7761723

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本发明涉及一种包括传感器阵列的传感器系统,该传感器阵列包括基板层和用于测量所需参数的多个单独第一传感器元件,该第一传感器元件布置在所述基板层上且定义了传感器平面,其中,传感器阵列进一步包括用于测量进一步所需参数的一个或多个第二传感器元件;以...
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