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16杆二维无耦合微位移工作台制造技术
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文档序号:7760220
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本发明涉及16杆二维无耦合微位移工作台。该工作台包括基板、外层柔性铰链杆、驱动支座、电致伸缩器件、内层柔性铰链杆、工作台,四组均布的内层柔性铰链杆一端连接工作台,另一端连接驱动支座,驱动支座通过外层柔性铰链杆连接到基板上,驱动支座与基板凹槽...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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