下载有机超薄阻蚀膜的复合自组装方法的技术资料

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有机超薄阻蚀膜的复合自组装方法是一种超薄膜制备方法,该方法以有机聚合物作为分子自组装膜的主体成分,再以小分子化合物进行填入,自组装成致密有机超薄阻蚀层;具体的组装方法为:a.将金属基底进行预处理:将金属基底放入有表面活性剂的处理液中,进行除...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。

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