下载异物检测装置的制造方法的技术资料

文档序号:7735280

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本发明涉及一种异物检测装置的制造方法。在异物检测装置的制造方法中,形成包括连接部分(34)和内周部分的弹性绝缘体(14、30、144),在所述弹性绝缘体(14、30、144)上设置多个电极(18、20、150、152、154、156),使得...
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