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本实用新型实施例公开了一种氦气循环冷却系统，包括：氦气瓶、过滤减压单元、低压缓冲设备、增压装置、高压缓冲设备、待冷却设备和换热器，其中：所述氦气瓶的输出端经过所述过滤减压单元与低压缓冲设备氦气补给输入侧连接；所述换热器的冷气输出端与低压缓冲...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

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