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本发明涉及一种制备组合材料芯片的方法及所使用的系统，其特征在于可溶物溶液或难溶物悬浮液预先在溶液管路中混合均匀，然后用外界气体驱动的电磁式喷射系统，将混合均匀的可溶物溶液或难溶物悬浮液喷射到基板上，通过热处理制备成组合材料芯片。所使用的电磁...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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