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本实用新型公开了一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置，包括靶位溅射室、顶盖、进水管、出水管、气管和三通，顶盖设置在靶位溅射室的上方，进水管和出水管设置在顶盖上，进水管和气管分别都与三通连接。采用本实用新型可以在对靶位溅射室进行保养维修时及时地把...
该专利属于佛山市中南罗森玻璃有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过佛山市中南罗森玻璃有限公司授权不得商用。

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