下载有序硅纳米线阵列的制备方法的技术资料

文档序号:7716093

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本发明公开了一种有序硅纳米线阵列的制备方法,属于有序硅纳米线阵列制备领域。该方法包括:在硅片上通过旋涂制备双层聚苯乙烯微球密排阵列结构,之后用氩气等离子体蚀刻,得到初始模板;将所述初始模板放入硝酸铁溶液中浸润,浸润后再放入炉中高温退火,退火...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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