下载狭缝式涂布模具的技术资料

文档序号:770879

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狭缝式涂布模具,其包括模块、以及沿模块长度方向间隔设置的多个分配器和多个加热装置。每个分配器具有由液体通道连通的液体入口和液体出口、以及可操作地开/闭液体通道的阀组件。在模块中具有沿长度方向延伸且开口于模块前端的狭缝,在狭缝内形成有多个均流...
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